개인구독
소속 기관이 없으신 경우, 개인 정기구독을 하시면 저렴하게
논문을 무제한 열람 이용할 수 있어요.
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE JOUNAL OF SEMICONDUCTOR THCHNOLOGY AND SCIENCE Vol.4 No.2
- 발행연도
- 2004.6
- 수록면
- 128 - 132 (5page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
This paper presents the design, fabrication sequence and measurement results of a highly sensitive capacitive-type humidity sensor using a polyimide film without hydrophobic elements. The structure of the humidity sensor is MIM (metalinsulator-metal). For a high sensitivity, a modified aromatic polyimides as a moisture absorbing layer has been synthesized instead of using general polyimides containing hydrophobic elements. The polyimide film was obtained by synthesizing and thermally polymerizing polyamic acid composed of m-pyromellitic dianhydride, phenelenediamine and dimethylacetamide. Characteristics of fabricated sensors which include sensitivity, hysteresis and stability have been measured. The measurement result shows the percent normalized capacitance change of 0.37/% RH over a range from 10 to 90% RH, hysteresis of 0.77% over the same %RH range and maximum drift of 0.25% at 50%RH. The result shows that the developed humidity sensor can be applied to evaluate a hermeticity of various sensors and actuator systems as well as micro packages.
목차
ABSTRACT
1.INTRODUCTION
2.MOISTURE SENSING LAYER PREPARATION
3.FABRICATION
4.MEASUREMENT
5.CONCLUSION
ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
건식법에 의해 제조된 내열성 폴리이미드박막의 열적특성 및 습도감지특성
전기학회논문지
2007 .06
-
열경화성 폴리이미드를 이용한 빗살전극형 정전용량형 습도센서
한국산학기술학회 논문지
2019 .06
-
A Simple Capacitive Sensor Array Based on a Metal-Insulator-Metal Structure
센서학회지
2012 .01
-
Polyimide Films
고분자 과학과 기술
1995 .06
-
마이크로 패키지의 밀폐도 측정을 위한 정전용량형 폴리이미드 습도센서
센서학회지
2004 .01
-
An Integrated Sensor for Pressure, Temperature, and Relative Humidity Based on MEMS Technology
Journal of Mechanical Science and Technology
2006 .04
-
Effects of Long-term Exposure of High and Low Humidity on Thin-film Humidity Sensors
센서학회지
2018 .01
-
Preparation and Characterization of Polyimide Capacitive Humidity Sensor Using Various Dianhydride Monomers
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2017 .04
-
양방향 반사 지연선을 이용한 무선, 무전원 SAW 기반 온, 습도 센서 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .07
-
Preparation and Properties of Polyimide/Polyurethane Blends for Capacitive Humidity Sensor
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2014 .04
-
Synthesis and Properties of Polyimide/Polyurethane Blends and Polyimide-Polyurethane Block Copolymers for Capacitive Humidity Sensor
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015 .10
-
POLYIMIDE / POLYIMIDE MOLECULAR COMPOSITES
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1991 .04
-
새로운 방향족 폴리이미드의 합성
폴리머
2006 .03
-
${AI_2}{O_3}$/ AI 및 ${SnO_2}-{AI_2}{O_3}$/AI박막습도 센서에 관한 연구
한국재료학회지
1994 .01
-
전도성 카본 잉크를 이용한 직류 저항형 습도센서 제작 및 평가
센서학회지
2017 .01
-
The effect of processing on the structure of high temperature polyimide thin films
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1996 .04
-
반응성 공중합체들을 이용한 습도센서의 감습 특성
한국재료학회지
2001 .01
-
Improvement of Adhesion between Polyimide and Glass using Silicone Modified Polyimide
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1993 .10
-
폴리이미드 박막을 이용한 정전용량형 습도센서
대한전자공학회 학술대회
1994 .11
-
폴리이미드 박막을 이용한 정전 용량형 습도센서 ( Fabrication of Capacitance-Type Humidity Sensor Using Polyimide Thin Film )
대한전자공학회 학술대회
1994 .11
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
구리 나노입자의 광소결에 의한 기판의 휨 현상 저감 연구
유충현
,
김학성
대한기계학회 춘추학술대회
2014
.11
Hydrogen Evolution from Biological Protein Photosystem I and Semiconductor BiVO4 Driven by Z-Schematic Electron Transfer
Seonae Shin
,
Younghye Kim
,
Ki Tae Nam
한국진공학회 학술발표회초록집
2013
.08
IPL 소결을 이용하여 제작된 구리 박막의 피로수명 연구
오세인
,
좌성훈
,
은경태
외 2명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012
.05
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-569-014099262