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A capacitive type humidity sensor has been fabricated using a polyimide film without hydrophobic elements and its characteristics has been evaluated for hermeticity measurement of micro packages. For a highly sensitive humidity sensor, a polyimide film without hydrophobic elements has been synthesized and used instead of using a commercial one in which 7 group elements such as fluorine or chlorine are included. Sensitivity, stability and hysteresis has been performed to characterize the fabricated sensors. The sensitivity defined as normalized percent capacitance change was 0.375/%RH and hysteresis was 0.77% in the range of 10%RH to 90%RH. Maximum deviation from the average capacitance measured for 120minutes at 50%RH was 0.25%. The proposed humidity sensor can be used for hermeticity measurement of micro packages.
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C. H. Ahn,Y. J. Kim,and M. G. Allen / 1993. / A planar variable reluctance magnetic micromotor with fully integrated stator and coils 2 (4) : 165 ~ 173
C. Laville / 2002 / Comparison of three humidity sensors for a pulmonary function diagno-sis microsystem 2 (2) : 96 ~ 101
D. D. Denton,C. N. Ho,and S. G. He / 1990. / A solidstate relative humidity measurement system 39 (3) : 508 ~ 511
G. Maier / 2001. / Low dielectric constant polymers for microelectronics 26 : 3 ~ 65
H. Han, / 1999. / Effects of precursor origins on water sorption behaviors of various aromatic polyimides in thin films 40 : 2681 ~ 2685
C. Laville / 2002 / Comparison of three humidity sensors for a pulmonary function diagno-sis microsystem 2 (2) : 96 ~ 101
D. D. Denton,C. N. Ho,and S. G. He / 1990. / A solidstate relative humidity measurement system 39 (3) : 508 ~ 511
G. Maier / 2001. / Low dielectric constant polymers for microelectronics 26 : 3 ~ 65
H. Han, / 1999. / Effects of precursor origins on water sorption behaviors of various aromatic polyimides in thin films 40 : 2681 ~ 2685
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