RF Magnetron sputtering WSi₂박막 형성에 미치는 Ti층의 역할

한성호; 이재갑

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 한성호 이재갑

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제8회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1995.2

수록면: 55 - 56 (2page)

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