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대면적 디스플레이 장치를 위한 선형 유도결합형 플라즈마 소오스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
대면적 다결정 실리콘 증착을 위한 내장형 유도결합 플라즈마 소오스에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
여러 가지 병렬 안테나에 따른 플라즈마 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
플라즈마-물질 상호작용 연구를 위한 선형 장치 설계 및 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
CF₄/O₂ 가스를 사용한 평판 디스플레이 식각용 대면적 유도 결합 플라즈마의 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
3차원 소자를 위한 개선된 소오스/드레인 접촉기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
대면적 플라즈마 디스플레이 패널용 MgO 성막의 요소기술 및 장치개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
플라즈마 디스플레이 패널의 Ar 가스 첨가에 따른 효율 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
평판형 디스플레이 패널 공정을 위한 대면적 건식식각 장치의 플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
대면적 플라즈마 공정을 위한 자장이 인가된 내장형 선형 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
토모그래피 기법을 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
SMP (Symmetric Multi-Power) 안테나에 의한 플라즈마 밀도 분포 개선에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
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