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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제32회 학술대회 초록집
발행연도
2007.2
수록면
110 - 110 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2007

내장형 유도결합 플라즈마 소스를 이용한 나노 다결정 실리콘 증착 및 특성 연구
김홍범 ,  이형철 ,  염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료
내장형 Multiple U-type 안테나를 이용한 나노 다결정 실리콘의 증착에 대한 연구
김홍범 ,  이형철 ,  염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007.04 학술대회자료
대면적 다결정 실리콘 증착을 위한 내장형 유도결합 플라즈마 소오스에 대한 연구
김홍범 ,  이형철 ,  염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.02 학술대회자료

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