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이형철 (성균관대학교) 홍승표 (성균관대학교) 염근영 (테라급나노소자사업단)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.8
수록면
303 - 303 (1page)

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