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대면적 디스플레이 장치를 위한 내장형 선형 안테나를 이용한 플라즈마 소오스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
대면적 다결정 실리콘 증착을 위한 내장형 유도결합 플라즈마 소오스에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
CF₄/O₂ 가스를 사용한 평판 디스플레이 식각용 대면적 유도 결합 플라즈마의 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
대면적 플라즈마 공정을 위한 자장이 인가된 내장형 선형 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
대면적 플라즈마 디스플레이 패널용 MgO 성막의 요소기술 및 장치개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
적합화된 자장의 세기 및 배열을 통한 대면적 유도결합형 플라즈마 개발에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
평판형 디스플레이 패널 공정을 위한 대면적 건식식각 장치의 플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
평판형 디스플레이 공정을 위한 내장형 유도 결합 플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
유도 결합 플라즈마에서의 안테나 권선 수에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
CF4/O2 Gas를 사용한 디스플레이용 ICP 장비의 플라즈마 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
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