지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.6
- 수록면
- 779 - 785 (7page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Particle transport and deposition characteristics on semiconductor wafers inside the chamber were experimentally investigated via a particle generation & deposition system and a wafer surface scanner. Especially the relation between particle size(0.083~0.495㎛) and particle deposition velocity with ESA(Electrostatic Attraction) effect was studied. Spot deposition technique with the deposition system using nozzle type outlets of the chamber was newly conducted to derive particle deposition velocity and all experiment results were compared with the previous study and were in a good agreement as well.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 입자침착 근사모델
3. 실험장치
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
정전효과가 있는 300 ㎜ 보다 큰 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2010 .06
-
수직 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
1994 .06
-
수직 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정
설비공학논문집
1995 .08
-
300 ㎜보다 큰 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .05
-
AN EXPERIMENTAL STUDY OF PARTICLE DEPOSITION DURING THE OUTSIDE VAPOR DEPOSITION PROCESS
KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference
1996 .10
-
정전효과가 있는 가열 수평웨이퍼로의 입자침착 수치해석 ( Numerical Analysis of Particle Deposition onto a Heated , Horizontal Free-Standing Wafer with Electrostatic Effect )
대한기계학회 춘추학술대회
1995 .01
-
정전효과가 있는 가열 수평웨이퍼로의 입자침착에 관한 해석 ( Analysis on Particle Deposition onto Heated , Horizontal Freestanding Wafer with Electrostatic Effect )
대한기계학회 논문집 B권
1997 .10
-
회전 웨이퍼상의 입자침착에 관한 연구 ( A Study on the Particle Deposition Toward a Rotating Wafer Surface )
대한기계학회 춘추학술대회
1995 .01
-
열역동력이 고려된 수평웨이퍼 입자침착 수치해석
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
1994 .06
-
반도체 세정 공정 평가를 위한 나노입자 안착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .05
-
A Study of Heat Transfer and Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process
International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering
1993 .05
-
웨이퍼 표면상의 입자침착에 관한 수치 시뮬레이션 ( Numerical Simulation of Particle Deposition on a Wafer Surface )
대한기계학회 논문집
1993 .09
-
Outside Vapor Deposition 공정에 관한 열전달과 입자 부착에 관한 연구 ( A Study of Heat Transfer and Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process Outside Vaper Deposition )
대한기계학회 춘추학술대회
1993 .01
-
나노 입자 적층 시스템을 사용한 아연 분말 적층에서의 레이저 효과
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
-
기류속도가 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향 ( Airflow Velocity Effect on Particle Deposition Toward a Horizontal Wafer Surface )
대한기계학회 춘추학술대회
1994 .01
-
정전압에 따른 클린룸 벽체에서의 입자침착 특성
설비공학논문집
2006 .12
-
레이저와 건식 입자 분사적층 시스템을 사용한 하이브리드 적층 공정 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
-
Wafer Surface Scanner를 이용한 반도체 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정
설비공학논문집
1993 .05
-
나노입자 적층시스템에서 입자크기의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
-
진공환경에서 수평 웨이퍼 표면으로의 입자침착 수치해석
대한기계학회 춘추학술대회
2002 .05
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
웨이퍼 표면상의 입자침착에 관한 수치 시뮬레이션 ( Numerical Simulation of Particle Deposition on a Wafer Surface )
명현국
,
박은성
대한기계학회 논문집
1993
.09
기류속도가 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향 ( Airflow Velocity Effect on Particle Deposition Toward a Horizontal Wafer Surface )
배귀남
,
이춘식
,
박승오
대한기계학회 춘추학술대회
1994
.01
회전 웨이퍼상의 입자침착에 관한 연구 ( A Study on the Particle Deposition Toward a Rotating Wafer Surface )
배귀남
,
안강호
대한기계학회 춘추학술대회
1995
.01
정전집진기 집진판의 진동 특성
나종문
,
이기백
,
양장식
한국소음진동공학회 학술대회논문집
1995
.05
정전효과가 있는 300 ㎜ 보다 큰 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석
송근수
,
유경훈
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2010
.06
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-553-017631919