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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.5
- 수록면
- 78 - 79 (2page)
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웨이퍼 표면상의 입자침착에 관한 수치 시뮬레이션 ( Numerical Simulation of Particle Deposition on a Wafer Surface )
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1993 .09
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정전효과가 있는 300 ㎜ 보다 큰 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석
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1995 .05
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1994 .06
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수직 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정
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1995 .08
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정전효과가 있는 가열 수평웨이퍼로의 입자침착에 관한 해석 ( Analysis on Particle Deposition onto Heated , Horizontal Freestanding Wafer with Electrostatic Effect )
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1993 .05
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웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
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2018 .01
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진공환경에서 수평 웨이퍼 표면으로의 입자침착 해석
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