정전효과가 있는 가열 수평웨이퍼로의 입자침착 수치해석 ( Numerical Analysis of Particle Deposition onto a Heated , Horizontal Free-Standing Wafer with Electrostatic Effect )

유경훈 ,  오명도 ,  명현국

대한기계학회 춘추학술대회

1995 .01

가열 또는 냉각되는 수평웨이퍼 표면으로의 입자침착에 관한 해석 ( Analysis of Particle Deposition onto a Heated or Cooled , Horizontal Free-Standing Wafer Surface )

유경훈 ,  오명도 ,  명현국

대한기계학회 논문집

1995 .05

정전효과가 있는 가열 수평웨이퍼로의 입자침착에 관한 해석 ( Analysis on Particle Deposition onto Heated , Horizontal Freestanding Wafer with Electrostatic Effect )

유경훈 ,  오명도 ,  명현국

대한기계학회 논문집 B권

1997 .10

웨이퍼 표면상의 입자침착에 관한 수치 시뮬레이션 ( Numerical Simulation of Particle Deposition on a Wafer Surface )

명현국 ,  박은성

대한기계학회 논문집

1993 .09

300 ㎜보다 큰 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석

송근수 ,  유경훈

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .05

회전 웨이퍼상의 입자침착에 관한 연구 ( A Study on the Particle Deposition Toward a Rotating Wafer Surface )

배귀남 ,  안강호

대한기계학회 춘추학술대회

1995 .01

가열되는 회전원판으로의 입자침착 수치해석 ( Numerical Analysis of Particle Deposition onto a Heated , rotating Disk )

유경훈

대한기계학회 춘추학술대회

1999 .01

열영동력이 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향 ( Thermophoretic Effect on Particle Deposition toward a Horizontal Wafer )

배귀남 ,  박승오 ,  이춘식 외 1명

대한기계학회 논문집

1994 .01

기류속도가 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향 ( Airflow Velocity Effect on Particle Deposition Toward a Horizontal Wafer Surface )

배귀남 ,  이춘식 ,  박승오

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

열역동력이 고려된 수평웨이퍼 입자침착 수치해석

유경훈 ,  오명도 ,  명현국

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1994 .06

가열되는 회전원판으로의 입자침착 해석 ( Analysis on Particle Deposition on a Heated Rotating Disk )

유경훈

대한기계학회 논문집 B권

2002 .02

정전효과가 있는 300 ㎜ 보다 큰 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석

송근수 ,  유경훈

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2010 .06

진공환경에서 수평 웨이퍼 표면으로의 입자침착 수치해석

유경훈

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .05

수직 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정

배귀남 ,  이춘식 ,  박승오 외 1명

설비공학논문집

1995 .08

수직 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정

배귀남 ,  이춘식 ,  박승오 외 1명

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1994 .06

가열된 웨이퍼의 직육면체 용기 내에서의 입자 오염에 관한 연구

이문규 ,  육세진

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .11

진공환경에서 수평 웨이퍼 표면으로의 입자침착 해석

유경훈

대한기계학회 논문집 B권

2002 .12

정전효과를 고려한 반도체 웨이퍼의 입자침착 특성

이건형 ,  채승기 ,  문영준

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2006 .06

수평으로 놓인 웨이퍼의 이송 시 트랩존의 입자오염 저감 효과

우상희 ,  노승윤 ,  육세진

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

Wafer Surface Scanner를 이용한 반도체 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정

배귀남 ,  박승오 ,  이춘식 외 2명

설비공학논문집

1993 .05