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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1994.1
- 수록면
- 175 - 183 (9page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (4)
1994
열영동력이 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향 ( Thermophoretic Effect on Particle Deposition toward a Horizontal Wafer )
배귀남
,
박승오
,
이춘식
외 1명
대한기계학회 논문집
1994.01
학술저널
기류속도가 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향 ( Airflow Velocity Effect on Particle Deposition Toward a Horizontal Wafer Surface )
배귀남
,
이춘식
,
박승오
대한기계학회 춘추학술대회
1994.01
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대한기계학회 춘추학술대회
1994 .01
-
열역동력이 고려된 수평웨이퍼 입자침착 수치해석
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
1994 .06
-
회전 웨이퍼상의 입자침착에 관한 연구 ( A Study on the Particle Deposition Toward a Rotating Wafer Surface )
대한기계학회 춘추학술대회
1995 .01
-
웨이퍼 표면상의 입자침착에 관한 수치 시뮬레이션 ( Numerical Simulation of Particle Deposition on a Wafer Surface )
대한기계학회 논문집
1993 .09
-
가열 또는 냉각되는 수평웨이퍼 표면으로의 입자침착에 관한 해석 ( Analysis of Particle Deposition onto a Heated or Cooled , Horizontal Free-Standing Wafer Surface )
대한기계학회 논문집
1995 .05
-
정전효과가 있는 가열 수평웨이퍼로의 입자침착 수치해석 ( Numerical Analysis of Particle Deposition onto a Heated , Horizontal Free-Standing Wafer with Electrostatic Effect )
대한기계학회 춘추학술대회
1995 .01
-
정전효과가 있는 가열 수평웨이퍼로의 입자침착에 관한 해석 ( Analysis on Particle Deposition onto Heated , Horizontal Freestanding Wafer with Electrostatic Effect )
대한기계학회 논문집 B권
1997 .10
-
진공에서 가열 수평 웨이퍼로의 입자침착 수치해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2003 .11
-
300 ㎜보다 큰 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .05
-
수직 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
1994 .06
-
수직 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정
설비공학논문집
1995 .08
-
정전효과가 있는 300 ㎜ 보다 큰 반도체 웨이퍼로의 입자침착 수치해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2010 .06
-
THREE-DIMENSIONAL ANALYSIS OF THE THERMOPHORETIC PARTICLE DEPOSITION IN OVD ( OUTSIDE VAPOR DEPOSITION ) PROCESS
KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference
1996 .10
-
Thermophoretic Transport and Deposition of Particles in Vertical Tube Flow with Variable Wall Temperature and Thermal Radiation
KSME International Journal
1999 .03
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Wafer Surface Scanner를 이용한 반도체 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정
설비공학논문집
1993 .05
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정전효과를 고려한 반도체 웨이퍼의 입자침착 특성
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2006 .06
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입자의 형상에 따른 열영동 집진에 대한 실험적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2002 .05
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정체점 입자유동에서 복사열전달을 고려한 열영동 입자부착연구 ( A Study of Thermophoretic Particle Deposition in a Particle Laden Stagnation Flow Including the Effect of Radiative Heat Transfer )
대한기계학회 논문집 B권
1996 .05
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진공환경에서 수평 웨이퍼 표면으로의 입자침착 수치해석
대한기계학회 춘추학술대회
2002 .05
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Theoretical Comparison of Thermophoretic Aeorosol Deposition in the Tube Flow
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2020 .06
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