CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

Development of Multiple CMP Monitoring Systemfor Consumable Designs

Sun-Joon Pa ,  k ,  Boum-Young Pa 외 4명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2007 .01

초음파를 이용한 Metal CMP의 Conditioning에 관한 연구

이성훈 ,  정해도 ,  안대균

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

CMP개론 및 현황

박진구

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

CMP 공정에서 발생하는 연마온도 분포에 관한 연구

김형재 ,  권대희 ,  정해도 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .03

패턴 밀도에 따른 CMP 공정에 따른 연구

문원하 ,  이재경 ,  황호정

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구 ( Optimizations for Oxide CMP Processes )

김동일 ,  허종곤 ,  윤관기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구

金東一 ,  許宗坤 ,  尹寬基 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP

In-Ho Pa ,  k ,  Da-Sol Lee 외 2명

한국기계가공학회지

2018 .12

CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향

이현섭 ,  박범영 ,  김구연 외 3명

대한기계학회 논문집 A권

2004 .11

CMP공정에서의 종점 검출 기술 현황

김승우 ,  김기홍

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .05

연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향

이다솔 ,  정해도 ,  이현섭 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

CMP 컨디셔너의 새로운 제안

안대균 ,  이성훈 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .05

CMP 공정 후의 오염 제어

박진구 ,  이상호 ,  김형균

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .05

반경험적인 실험설계 기법을 이용한 CMP 공정 변수의 최적화

서용진 ,  김상용 ,  이경진

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

김명식 ,  김형준 ,  엄대홍 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

입자스케일 유한요소모델에 의한 CMP공정 해석

곽하슬로미 ,  성인하

한국트라이볼로지학회 학술대회

2012 .04

CMP 공정의 설비요소가 공정 결함에 미치는 영향

朴成祐 ,  丁韶暎 ,  朴昌準 외 5명

전기학회논문지 C

2002 .05