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CMP 컨디셔너의 새로운 제안
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
Cu용 슬러리 환경에서의 보호성 코팅이 융착 CMP 패드 컨니셔너에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
CMP패드 산업동향
전자진흥
2004 .01
CMP 컨디셔닝 공정에서의 부식방지를 위한 자기조립 단분자막의 적용과 표면특성 평가
한국재료학회 학술발표대회
2011 .01
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
CMP 공정용 다이아몬드 컨디셔너의 배열과 마찰신호의 상관관계에 대한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013 .04
화학기계적 연마에서 컨디셔너의 회전속도비에 따른 연마패드 마모해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
CMP 공정에서 패드 홈 밀도 변화에 따른 연마특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
고정입자 패드를 이용한 텅스텐 CMP에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2001 .12
CMP 공정 중 세라믹 컨디셔너의 물리적, 화학적 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
CMP 공정 중 polishing performance 향상을 위한 세라믹 컨디셔너의 개발과 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
CMP 공정에서의 패드 물성변화 및 입자 거동에 대한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
Groove Size Effect on CMP Characteristics and Analysis
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
CMP특성과 온도의 상호관계에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .10
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