TOF-SIMS Depth profile의 Sputtering rate를 통한 재질 연구

홍주익 ,  김지수 ,  이석열 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2008 .11

Depth profile 측정 시에 영향을 주는 Sputtering rate에 관한 연구

김주광 ,  성인복 ,  강석태

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Depth Profiling에서 Sputtering Rate의 영향

김주광 ,  성인복 ,  김태준 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .09

Conversion from SIMS depth profiling to compositional depth profiling of multi-layer films

Jong Shik Jang ,  Hye Hyen Hwang ,  Hee Jae Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

A study of sputter XPS depth profiling of Ta₂O5 / Si without preferential sputtering problems.

김경중 ,  문대원

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Decision of Interface and Depth Scale Calibration of Multilayer Films by SIMS Depth Profiling

Hye Hyun Hwang ,  Jong Shik Jang ,  Hee Jae Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Compositional SIMS Depth Profiling of CIGS film

김경중 ,  황혜현 ,  장종식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

TOF-SIMS의 Depth Profiling을 이용한 금속의 정량분석

임원철 ,  이지혜 ,  이연희

한국분석과학회 학술대회

2009 .05

Quantification of Cu(In_xGa_1-x)Se₂ Solar Cell by SIMS

Jong Shik Jang ,  Hye Hyen Hwang ,  Hee Jae Kang 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Oxygen flooding에 의해 왜곡된 SIMS depth profile의 보정

이영진 ,  정칠성 ,  윤명노 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Oxygen flooding에 의해 왜곡된 SIMS depth profile의 보정

이영진 ,  정칠성 ,  윤명노 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

Delta dopped layer 의 SIMS depth profiling.

김완섭 ,  강희재 ,  문대원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

한국산 왕송이버섯의 인공재배 (I) - 자실체 형태적 특징과 발생지 환경조사 -

김한경 ,  김양섭 ,  석순자 외 2명

한국균학회지

1998 .01

Determination of Layer Thickness of A/B Type Multilayer Films in SIMS Depth Profiling Analysis

Hyun Hye Hwang ,  Jong Shik Jang ,  Hee Jae Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

The transient sputtering yield change of an amorphous Si layer by low energy O₂+ and Ar+ ion bombardment

Hye Chung Shin ,  Hee Jae Kang ,  Hyung Ik Lee 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .10

Ta₂O5 / SiO₂ Multilayered Thin Film on Si as a New Reference Material for SIMS Depth Profiling

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법

정현재 ,  이선영 ,  김형우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향

박장식

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

A Study on Impurity Depth Profile by Secondary Ion Mass Spectrometer

Mi ,  ang Byoen ,  Da Yung Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Diagnostics of Magnetron Sputtering Plasmas : Distributions of Density and Velocity of Sputtered Metal Atoms

Koichi Sasaki

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02