Etching Mechanism of Indium Tin Oxide Thin Films using Cl2/HBr Inductively Coupled Plasma

김성일 ,  권광호

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2009 .01

$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용

김현수 ,  이주훈 ,  오경희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

ICP를 이용한 Ar/HBr/Cl₂ 가스에서 백금 박막의 식각 연구

김남훈 ,  김창일 ,  권광호 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

SiC/ $Si_{3}N_{4}$ 복합재료의 $O_{2}/Cl_{2}$분위기에서의 고온 부식거동

박찬 ,  안용식 ,  정해용 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Cl2 / Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N2 가스 첨가 효과 ( The Effect of Additive N2 Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled Cl2 / Ar Plasmas )

유재흥 ,  김남훈 ,  장의구 외 1명

전자공학회논문지-SD

2000 .07

한국공업규격-폴리염화알루미늄

한국수도협회

수도

1975 .01

HBr/O2 유도결합 플라즈마를 이용한 폴리실리콘 건식식각

범성진 ,  송오성 ,  이혜영 외 1명

전기전자재료학회논문지

2004 .01

유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  이재원 ,  김태일 외 1명

한국표면공학회지

1999 .04

Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 2명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

${Cl}_{2}/{BCl}_{3}$ 유도 결함형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성

이용혁 ,  김현수 ,  권용성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Cl₂ 유도결합 플라즈마를 이용한 SBT 박막의 식각특성

金東杓 ,  金昌日

전기학회논문지 C

2001 .05

ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$플라즈마 식각

박진수 ,  한윤봉 ,  이규철

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Cl/HBr/O 고밀도 플라즈마에서 비정질 실리콘 게이트 식각공정 특성

이원규

화학공학

2009 .01

Platinum Etching in an Inductively Coupled Cl2 Plasma

C. S. Yoon ,  T. S. Kim ,  J. G. Lee 외 8명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

CLS 시스템의 제어 알고리듬 테스트를 위한 플랫폼 개발

진재현 ,  양지열 ,  조효민 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2007 .05

유도결합형 플라즈마를 이용한 Ta 식각 특성

이영식 ,  나선웅 ,  이내응 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

He/BCl₃/Cl₂유도결합 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 식각 특성

우종창 ,  김창일 ,  주영희 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

ATM 망에서 비연결형 서버의 폭주제어에 관한 연구

박천관 ,  전병천 ,  김영선

한국정보과학회 학술발표논문집

1997 .10

CLS 기반 공간 적응적 영상복원 ( Spatially Adaptive CLS Based Image Restoration )

백준기 ,  문준일 ,  김상구

한국통신학회논문지

1996 .10

CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01