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이용수
2006
2004
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
유도 결합형 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 성장
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
유도결합 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 cubic boron nitride 박막 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터, 증발 복합 증착 시스템의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
Surface Modification Cr Plated SS316L by Inductively Coupled Plasma Nitriding
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착법에 의해 제조된 carbon nitride 박막의 기판 r.f. bias 효과에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
자화된 유도 결합형 플라즈마를 이용한 다이아몬드성 탄소박막 증착
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .11
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
유도 결합 플라즈마-스퍼터 승화법을 이용한 고분자 전해질 연료전지 분리판용 CrN 박막의 내식성연구
한국표면공학회지
2013 .09
유도 결합 플라즈마 화학기상 증착법에 의한 TiN 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
내장형 Multiple U-type 안테나를 이용한 나노 다결정 실리콘의 증착에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
유도결합 플라즈마(ICP) 화학기상 증착법(CVD)을 이용한 SnO₂ 박막의 광학적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
유도 결합 플라즈마 스퍼터링 증착법에 의한 광촉매용 TiO₂ 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
강 기판위에 아크이온 플레이팅된 CrN박막의 산화
한국재료학회지
2001 .01
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