($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질

박지종 ,  김종오

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Magnetized inductively coupled plasma etching of GaN in Cl₂/BCl₃plasmas

Y.H. Lee ,  Y.J. Sung ,  G.Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

Plasma Properties of Dual-Frequency Inductively Coupled Plasma Source

이승민 ,  김경남 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

Dry Etching Characteristics of Zinc Oxide Thin Films in Cl_2-Based Plasma

Jong-Chang Woo ,  Tae-Kyung Ha ,  Chen Li 외 5명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2011 .01

Platinum Etching in an Inductively Coupled Cl2 Plasma

C. S. Yoon ,  T. S. Kim ,  J. G. Lee 외 8명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Fabrication of soluble organic thin film transistor with ammonia ($NH_3$) plasma treatment

Kim ,  Dong-Woo ,  Kim 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

Inductively coupled plasma를 이용한 ITO표면의 O₂ plasma 처리 후 유기 발광 소자의 특성

김미숙 ,  정창현 ,  임종태 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

Plasma Properties by Pulsed Inductively Coupled Plasma Source using Dual Frequency

김태형 ,  김경남 ,  이승민 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

PLASMA EFFECTS ON HUMAN LIVER CANCER CELLS

Daeyeon Kim ,  Bomi Gweon ,  Danbee Kim 외 6명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .05

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

Research Trend and Future Perspective of Plasma-Assisted Health Care Technology

Hae June Lee ,  Kiwon Song

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2015 .10

Cutoff Probe를 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구

손의정 ,  김동현 ,  이호준

전기학회논문지

2016 .10

$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용

김현수 ,  이주훈 ,  오경희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

섬유의 Plasma 가공(Ⅰ) : plasma 처리화학

廣津敏博 ,  曺煥

한국염색가공학회지

1991 .09

고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2020 .07

Simulation of Inductively Coupled $Ar/O_2$ Plasma; Effects of Operating Conditions on Plasma Properties and Uniformity of Atomic Oxygen

Pa ,  k ,  Seung-Kyu 외 4명

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

Aspect Ratio 변화에 따른 Plasma Uniformity 변화

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .10

COMPARISON OF PLASMA-INDUCED SURFACE DAMAGES IN VARIOUS PLASMA SOURCES

Donghyen Yi ,  Jun-Sik Lee ,  Sang-Kyun Kim 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10