Thompson-Lampard 정리를 적용한 마이크로미터 변위 측정을 위한 비접촉식 전기용량 센서 개발

金漢俊; 姜銓洪; 韓相玉

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자료유형: 학술저널

저자정보: 金漢俊姜銓洪韓相玉

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 B 전기학회논문지 제55B권 제9호

발행연도: 2006.9

수록면: 443 - 448 (6page)

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Non-contacting capacitive sensor based on Thompson-Lampard theorem have been fabricated and characterized for measuring of ㎛ order displacements. To overcome disadvantages of the existed capacitive sensors of parallel plate type with 2-electrodes and 3-electrodes, the developed new sensor was designed to have 4-electrodes with a constant gap of 0.2 ㎜ between the electrodes. Two of the electrodes were used as a high potential electrode and a low one, the other two electrodes were used as guard electrodes. These electrodes were made from copper using RF sputtering system on a sapphire plate with diameter 17 ㎜ and thickness 0.7 ㎜. This sensor can be used for measuring the distance not only between the sensor and metallic target connected to ground potential but also non-metallic target without ground connection.

#Capacitive Sensor #Capacitance #Electrode #Parallel Plate #Guard

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[학술지(정기간행물)] - P. H. Mansfield / 1973. / Electrical Transducers for Industrial Measurement

[학술지(정기간행물)] - Hermann K. P. Neubert / 1975. / Instrument Transducers claren press : 68 ~ 290

[학술지(정기간행물)] - F. N. Toch, / 1995 / A low-cost, highly stable reference capacitor for capacitive sensor system : 412 ~ 415

[학술지(정기간행물)] - R. Nerino / 1995. / Capacitive sensor arrays in dimensional analysis of surfaces 44 (4) : 875 ~ 880

[학술지(정기간행물)] - Zang Yan-Fen / 1993. / Method for the Straightness measurement of vertical guideways of machine tools using capacitive and inductive sensors Proceedings of the SPIE 2101 : 843 ~ 847

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