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대한전기학회 KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications KIEE INTERNATIONAL TRANSACTIONS ON ELECTROPHYSICS and APPLICATION Vol.5-C No.6
발행연도
2005.12
수록면
264 - 269 (6page)

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목차

Abstract
1. Introduction
2. Electrostatic Comb Fingers
3. Sawtooth Dimension
4. Design and Simulation
5. Fabrication
6. Measurement
7. Results
8. Conclusions
Acknowledgements
References

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