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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 다결정 실리콘 박막의 제작
3. 다결정 실리콘 박막의 특성
4. 결론
REFERENCES
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엑시머 레이저를 이용하여 결정화한 PECVD 및 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 특성 분석 ( Characterization of PECVD and LPCVD a-Si Films Crystallized by Excimer Laser )
전자공학회논문지-A
1996 .06
LPCVD 및 PECVD 시스템
전자공학회잡지
1983 .10
Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구
전기학회논문지
1991 .07
LPCVD System
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
한국통신학회 학술대회논문집
1988 .01
증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
증착온도가 LPCVD 실리콘 박막의 물성과 전기적 특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1992 .07
LPCVD 법으로 제작한 비정질 실리콘과 다결정 실리콘의 구조 및 전기적 특성 ( The Structural and Electrical Properties of LPCVD Amorphous and Polycrystalline Silicon Film )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
LPCVD법으로 제작한 비정질 실리콘과 다결정 실리콘의 구조 및 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1985 .06
LPCVD법으로 증착된 다층비정질 실리콘박막의 고상결정화
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
LPCVD 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 관한 연구
전기학회논문지
1994 .12
LPCVD 방법에 의한 고신뢰성 다결정 실리콘박막의 증착 ( High Reliable Polysilicon Film Deposited by LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
LPCVD, PECVD, ECR Plasma CVD를 이용한 SiN막질의 비교
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화에 미치는 기판의 영향 ( The Effects of the Substrates on the Solid Phase Crystallization in LPCVD Amorphouse Silicon Films )
전자공학회논문지-A
1992 .06
LPCVD 다결정 실리콘 막 성질이 박막트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )
전자공학회논문지-A
1992 .06
PECVD 방법으로 제조된 비정질 Si 박막의 RTP를 이용한 결정화 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
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