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Likun Zhu (University of Illinois at Urbana-Champaign) Bong-Hwan Kim (University of Illinois at Urbana-Champaign) Ki Sung Lee (University of Illinois at Urbana-Champaign) Byeungleul Lee (한국기술교육대학교) Kukjin Chun (서울대학교)
저널정보
대한전자공학회 ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications ITC-CSCC : 2009
발행연도
2009.7
수록면
199 - 200 (2page)

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In this paper, we proposed scaling of MEMS probe card which was developed with a fine-pitched and vertically guided probe structure. The probe structure was mechanically stable and movable only for ver ... 전체 초록 보기
#MEMS probe card #scaling #fine pitch

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