초미세 공정에 적합한 ICP(Inductive Coupled Plasma) 식각 알고리즘 개발 및 3차원 식각 모의실험기 개발

이영직 ,  박수현 ,  송명식 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

ICP 에 의한 Pt 박막의 식각 메카니즘에 관한 연구 ( The Study on the etching mechanism of Pt thin film by inductive Coupled plasma )

권광호 ,  김창일 ,  윤선진 외 2명

전자공학회논문지-D

1997 .06

SiO₂ 식각 특성 개선을 위한 E-ICP와 ICP 식각 비교

정재성 ,  김진우 ,  라상호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

E-ICP에 의한 산화막 식각특성

조수범 ,  송호영 ,  박세근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

C₄F₈/O₂ 공정기체와 E-ICP를 이용한 산화막 식각

송호영 ,  조수범 ,  이종근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Halogen-based Inductive Coupled Plasma에서의 W 식각시 첨가 가스의 효과에 관한 연구

박상덕 ,  이영준 ,  염근영 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

U Type Ferrite Core를 이용한 Inductive Coupled Plasma Source에 관한 연구

남창우

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Enhanced-Inductively Coupled Plasma (E-ICP)를 이용한 Silylated photoresist 식각공정개발

박세근 ,  이종근 ,  조수범 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

대면적 내장 선형 ICP(inductively coupled plasma) system에서 자장이 플라즈마와 PR(Photoresist) 식각 특성에 미치는 영향

오창권 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

Plasma Characteristics of (DF-ICP) Dual Frequency Inductively Coupled Pulsed Plasma Source

Jin. Seock. Seo ,  Kyung ,  Jun 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구

유한석 ,  양승국 ,  김한형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구

유한석 ,  양승국 ,  김한형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP 플라즈마를 이용한 W$N_{x}$의 이방성 식각

정창영 ,  송기창 ,  전영삼 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

ICP 광원의 정격용량 설계 요소와 전기적 의존성

金賢鎰 ,  林涓贊 ,  朴大熙 외 2명

전기학회논문지

2008 .03

아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구

김경현 ,  김관용 ,  이효창 외 1명

KEPCO Journal on electric power and energy

2015 .01

범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각

오범환 ,  박세근 ,  조수범

전기전자재료학회논문지

2004 .01

안테나에서 페라이트 위치 변화에 따른 전자계 시뮬레이션과 전기적ㆍ광학적 특성

李主熩 ,  梁種璟 ,  李鐘燦 외 3명

전기학회논문지

2008 .05

EFFECT OF NEUTRAL GAS FLOW ON THE PLASMA STATE IN ICP PROCESS,

Chung ,  W.Y. ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) System에서 자장이 플라즈마와 PR 식각특성에 미치는 영향

김경남 ,  이영준 ,  경세진 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

BCl 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각

임완태 ,  백인규 ,  정필구 외 4명

한국재료학회지

2003 .01