Characteristics of Internal Linear Inductively Coupled Plasma Source Operated with Superimposed Dual Frequency

김도한 ,  지유진 ,  김태형 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Experimental investigation on the plasma generation efficiency and plasma parameters in inductively coupled plasmas with a serial and a parallel antenna

김태우 ,  강현주 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F₈/ O₂ 가스의 특성 해석

김환호 ,  이정열 ,  박희성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Investigation of effect of rf bias frequency on plasma parameters in a remote inductively coupled plasma

Aixian Zhang ,  Moo-Young Lee ,  Ho-Jun Moon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

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2020 .02

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F₈ for inductively coupled plasma based on plasma parameters

J. J. Lee ,  S. J. Kim ,  Y. S. Lee 외 2명

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2019 .08

Diagnostics and modeling of inductively coupled methane plasma using the electrostatic probe and plasma simulations

차주홍 ,  이호준

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2017 .02

Inductively Coupled Plasma Simulation Based on Electron Energy Distribution Function and Process Pressure

So ,  a Lee ,  Yejin Shon 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2020 .11

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

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2018 .08

Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source

이장재 ,  김시준 ,  김광기 외 5명

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2016 .02

Electrical Characteristics of Inductively Coupled Plasma Sources using Magnetic Resonance Wireless Power Transmission System

Ju-Ho Kim ,  Chin-Wook Chung

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2020 .08

공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구

김주호 ,  정진욱

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2020 .02

Pulsed Inductively Coupled Plasma Discharge Simulation for Semiconductor Processing in 2D Axisymmetric Structure

Yejin Shon ,  So ,  a Lee 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2020 .11

Control of spatial distribution of plasma density by the variable capacitor in a capacitively coupled plasma

Ho-Jun Moon ,  Chin-Wook Chung

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2018 .08

Study on the electrical and optical diagnosis of electron temperatures according to conditions of plasma emission light intensity in inductively coupled plasma

Ye-Seul LEE ,  Jin-Woo CHOI ,  Tae-Hoon JO 외 3명

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2016 .08

Plasma characterization of a mesh separated dual plasma source by L-probe and QMS

김동훈 ,  최지성 ,  김성봉 외 2명

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2015 .08

A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System

Tae Hyung Kim ,  Geun Young Yeom

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09