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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제16권 제2호
발행연도
2006.1
수록면
59 - 65 (7page)

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Al이 첨가된 ZnO(ZnO : Al) 박막과 F이 첨가된 ZnO(ZnO : F) 박막을 sol-gel 법을 이용하여 glass 기판위에 코팅 하였다. 공통적으로 (002)면의 c-축 배향성을 보였지만 I(002)/[I(002) + I(101)]와 FWHM(full width at half-maximum) 값은 차이를 보였다. 특히 입자크기에 있어서는 ZnO : Al 박막에서 첨가농도가 증가함에 따라 입자크기가 감소한 반면 ZnO : F 박막에서는 F 3 at%까지 입자크기가 증가하다가 그 이후로 다시 감소하는 경향을 보였다. 전기적 성질의 측정을 위해서 Hall effect measurement를 이용하였는데 ZnO : Al 박막의 경우 Al 1 at%에서 비저항이 2.9×10.2 Ωcm 이었고 ZnO : F에서는 F 3 at%에서 3.3×10.1 Ωcm의 값을 보였다. 또한 ZnO : F 박막은 ZnO : Al 박막에 비해서 캐리어 농도는 낮았지만(ZnO : Al 4.8×1018 cm.3, ZnO : F 3.9×1016 cm.3) 이동도에 있어서 상당히 큰 값(ZnO : Al 45 cm2/Vs, ZnO : F 495 cm2/Vs)을 보였다. 가시광선 영역에서의 평균 광투과도에 있어서는 ZnO : Al 박막에서 86~90 %의 값을 보였지만 ZnO : F에서는 77~85 %로 상 대적으로 낮은 광투과도를 나타내었다. 0
#Transparent conducting #ZnO thin film #Electrical #Optical #Sol-gel0

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참고문헌 (13)

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/ 1992 / Textured aluminum-doped zinc oxide thin films from atmospheric pressure chemicalvapor deposition google schola / 1998 / Properties of fluorine-doped ZnO deposited onto glass by spray pyrolysis 52 : 301 ~ google schola / 1999 / Growth, structure andoptical characterization of high quality ZnO thin films obtained by spray pyrolysis : 192 ~ google schola / 2000 / Effect of aluminum doping on zinc oxide thin films grown by pulsed laser deposition for organic light-emitting devices 377 : 798 ~ google schola / 2000 / Hetero-epitaxial growth of ZnO thin films by atmospheric pressure CVD method : 431 ~ google schola

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