다층 RIE Electodes를 이용한 아크릴의 $O_2/N_2$ Plasma Etching

김재권 ,  박연현 ,  백인규 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

다층 RIE Electrode를 이용한 아크릴의 O/N 플라즈마 건식 식각

김재권 ,  김주형 ,  박연현 외 5명

한국재료학회지

2007 .01

저진공 축전결합형 SF, SF/O, SF/CH 플라즈마를 이용한 아크릴의 반응성 건식 식각

박연현 ,  주영우 ,  김재권 외 2명

한국재료학회지

2009 .01

SF6, C₄F8, O₂ 가스 변화에 따른 실리콘 식각율과 식각 형태 개선

권순일 ,  양계준 ,  송우창 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Deduction of Optimal Conditions for Acrylic Etching Technique by using CO₂ Laser

Hee-Je Kim ,  Keun-Ju Song ,  Sung-Jin Pa 외 6명

Journal of Electrical Engineering & Technology

2007 .03

실험계획법에 의한 $CF_4/O_2$ 플라즈마 에칭공정의 최적화에 관한 연구

최만성 ,  김광선

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향

김정호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Etching Parameter on Gate Oxide Damage during Plasma Etching )

김종호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

The Study on the Change of Surface Characteristics by Plasma Dry Etching

명노선

전자공학회지

2020 .02

RIE를 이용한 SiC 박막의 건식 식각공정 연구

강수창 ,  신무환

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

저온을 이용한 Contact Etching Process 에 대한 연구

황정원 ,  변광욱 ,  양태호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

ECR 플라즈마 식각 장치에서 플라즈마 물성이 식각 특성에 미치는 영향

金正浩 ,  李昈駿 ,  李晳賢 외 1명

전기학회논문지

1993 .04

알루미늄 식각을 위한 RIE 장치의 제작 및 성능의 연구 ( A study on the fabrication and performance of RIE mode Aluminium Etching System )

황기웅 ,  김윤택

대한전자공학회 학술대회

1987 .11