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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
- 발행연도
- 2008.1
- 수록면
- 261 - 263 (3page)
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We attempted modulation of the hydrogen dilution ratio in a Cat-CVD system to achieve both the minimal incubation layer and the high throughput. We obtained the incubation layer thickness of 3 nm, and were able to grow a 200 nm-thick film having a 70 % crystallinity in 18 minutes.
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