유도 결합 플라즈마 화학기상 증착법에 의한 TiN 증착

이동각 ,  이희용 ,  이정중 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2002 .05

TiN피막의 경도 및 구조적 특성에 미치는 화학증착 조건의 영향

申宗勳 ,  李性來 ,  白瑩鉉

한국표면공학회지

1987 .09

원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구

이준우 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

박진용 ,  김주연 ,  서상원 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

TiN 표면 위에 텅스텐의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten on TiN Surface )

이청 ,  이시우 ,  이건홍

전자공학회논문지-A

1992 .04

플라즈마 잠김 이온주입 및 증착법으로 제작된 TiN 박막의 특성에 관한 연구

김광훈 ,  S.A. Nikifo ,  ov 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성

정재인 ,  박형국 ,  문종호 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

TiN Barrier Layer 위에 금속유기화학증착법에 의해 제조된 구리박막의 증착특성에 관한 연구

윤수식 ,  이성권 ,  민재식 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

시분할 화학증착장치를 이용한 TiN 박막의 성장과 특성

이상수 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

플라즈마 화학증착법에 의한 TiN/(Ti,Al)N 다층박막의 제조 및 기계적 특성에 관한 연구

이동각 ,  이승훈 ,  이정중

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

Effects of Deposition Parameters on Composition , Structure , Resistivity and Step Coverage of Tin Thin films Deposited by ECR-PECVD

김종석 ,  이응직 ,  이원종

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

플라즈마 원자층 증착법으로 증착시킨 TiN 박막을 통한 CIGS 태양전지에서의 Selenium 확산 방지 평가

장승일 ,  이하진 ,  권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

경사 증착법으로 제조된 TiN 박막의 특성 연구

장승현 ,  양지훈 ,  박혜선 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

ALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성 ( Deposition and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )

김동진 ,  정영배 ,  이명복 외 4명

전자공학회논문지-SD

2000 .06

전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 화학 증착법에 의한 실리콘 질화막 형성 및 특성 연구

김용진 ,  김정형 ,  송선규 외 1명

한국표면공학회지

1992 .12

경사코팅 증착법으로 코팅된 TiN 박막의 특성 연구

송민아 ,  양지훈 ,  정재훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05