지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
Aluminum nitride, a compound semiconductor, has a Wurtzite structure; good material properties such as high thermal conductivity, great electric conductivity, high dielectric breakdown strength, a wide energy band gap (6.2eV), a fast elastic wave speed; and excellent in thermal and chemical stability. Furthermore, the thermal expansion coefficient of the aluminum nitride is similar to those of Si and GaAs. Due to these characteristics, aluminum nitride can be applied to electric packaging components, dielectric materials, SAW (surface acoustic wave) devices, and photoelectric devices. In this study, we surveyed the crystallization and preferred orientation of AlN thin films with an X-ray diffractometer. To fabricate the AlN thin film, we used the magnetron sputtering method with $N_2$, NH3 and Ar. According to an increase in the partial pressures of $N_2$ and $NH_3$, Al was nitrified and deposited onto a substrate in a molecular form. When AlN was fabricated with $N_2$, it showed a c-axis orientation and tended toward a high orientation with an increase in the temperature. On the other hand, when AlN was fabricated with $NH_3$, it showed a-axis orientation. This result is coincident with the proposed mechanism. We fabricated AlN thin films with an a-axis orientation by controlling the sputtering electric power, $NH_3$ pressure, deposition speed, and substrate temperature. According to the proposed mechanism, we also fabricated AlN thin films which demonstrated high a-axis and c-axis orientations.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
기판 및 열처리 온도에 따른 SrWO<sub>4</sub>:Dy<sup>3+</sup>, Eu<sup>3+</sup> 형광체 박막의 특성
한국재료학회지
2016 .01
-
Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering
Electronic Materials Letters
2021 .01
-
Physical Properties of Sputter-deposited Al-C Thin Films
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .06
-
RF-diode Sputtering법으로 제작한 Co박막의 자기특성과 미세구조
한국재료학회지
2018 .01
-
Graphene Oxide induced Crystallization in Polymer-Graphene Oxide Composite
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2021 .10
-
Effects of sputtering power, working pressure, and electric bias on the deposition behavior of Ag films during DC magnetron sputtering considering the generation of charged flux
Electronic Materials Letters
2022 .01
-
스퍼터링을 이용한 바나듐 합금 박막화에 관한 연구
화학공학
2016 .01
-
Large-area Crystallization of Semiconducting Polymers Using Eutectic Melt-crystallization for Electronic Device
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
-
동일 물질 타겟의 Co-sputtering 을 통해 제작한 고내구성 박막 전해질의 성능평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
-
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성
한국표면공학회지
2019 .08
-
Sputtering 방법으로 증착된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
-
열처리 온도에 따른 Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub> 박막의 특성
열처리공학회지
2019 .01
-
Phase Behavior of 6-arm Star (PMMA-b-PS)6 in Thin Films
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2020 .10
-
Nonclassical Nanostructures of 6-arm Star-shaped (PMMA-b-PS)6 in Thin Film
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .10
-
폴리머 기판에 스퍼터법으로 경사 증착한 Cr박막의 특성
한국재료학회지
2015 .01
-
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiNx 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과
한국표면공학회지
2019 .12
-
투명전도성 박막의 활용을 위한 스퍼터링 증착 기술과 전망
전기전자재료학회논문지
2023 .03
-
Composite Crystallization of Two API’s in Presence of Polymers
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2021 .10
-
반응성 스퍼터링으로 제조한 ITO 초박막의 후 열처리에 따른 고 결정화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
-
Strain-Induced Polymer Crystallization : Theory and Simulations
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0