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저자정보
윤주용 (연세대학교) 류우진 (연세대학교) 김대은 (연세대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
426 - 426 (1page)

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기술의 지속적인 발달에 따라 반도체, 디스플레이 산업에서는 보다 더 정밀하고 생산성이 우수한 공정이 요구되고 있다. 이러한 공정은 진공 환경에서 많이 진행되며, 진공 환경에서는 일반 대기보다 부품 표면과의 응착력이 증가하게 된다. 일반적인 기계시스템에서는 마찰과 마모를 감소시키기 위해 윤활유를 사용하지만, 진공 환경에서는 휘발성, 점성 등의 문제로 액체를 사용할 수 없다. 때문에 이 같은 특수 환경에서는 고체 윤활제가 사용되며 그 중 MoS2, WS2, Graphene 과 같은 2D 재료 기반 고체 윤활제는 낮은 층간 결합력과 낮은 전단 강도로 인해 고진공 환경 기계요소의 ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10581984');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Solid lubricant #Friction #Wear #2D material

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