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저자정보
이의영 (나고야대학교) 김재일 (나고야대학교) 김종국 (한국재료연구원) 장영준 (한국재료연구원) 우메하라 노리츠구 (나고야대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021년도 한국트라이볼로지학회 제70회 춘계학술대회
발행연도
2021.4
수록면
30 - 30 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

초정밀 가공 공구의 내마모성을 위한 산화된 사면체 비정질 탄소막의 마찰·마모 열화현상 규명
이의영 ,  박준 ,  이의삼 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021.12 학술대회자료
산화된 사면체 비정질 탄소막의 열적 마찰·마모 열화
이의영 ,  김재일 ,  김종국 외 2명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021.04 학술대회자료

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다이아몬드상 탄소 (Diamond-like carbon, DLC)는 흑연과 유사한 sp<sup>2</sup>구조와 다이아몬드와 유사한 sp<sup>3</sup>구조가 혼합된 비정질 코팅막이다. DLC 가운데 무수소 DLC인 사면체 비정질 탄소 (tetrahedral amorphous carbon, ta-C)는 높은 sp<sup>3</sup>함양으로 저마찰, 고경도와 뛰어난 내마모성 등의 우수한 특성으로 많은 관심을 받고 있다. 그러나 우수한 기계적 특성에도 불구하고 고온 환경에서 ta-C는 불안정한 트라이볼로지적 거동을 보인다. 특히, ta-C는 100℃이상의 마찰환경에서 긴 길들이기 구간과 마모입자에 의한 극심한 연삭마모의 큰 단점을 가진다. 이러한 열화 현상은 표면 결함에 의해 발생된다고 알려져 있으며, 이 결함들은 ta-C의 진공 아크증착과 깊은 관련이 있다.
진공 아크증착법은 높은 이온화율로 인해 이온의 거동을 쉽게 제어할 수 있어 ta-C의 성막이 용이하다. 하지만 아크의 높은 에너지로 인해 거대 입자의 발생과 모재로의 유입은 불가피하다. 이는 자기장을 활용한 굽은 덕트와 베^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10576660');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Pore #ta-C #Film failure #FCVA #Duct bias

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