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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
강효상 (한양대학교 신소재공학) 강승민 (한서대학교)
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제30권 제5호
발행연도
2020.1
수록면
168 - 173 (6page)

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AlN의 열 산화 공정에서 발생하는 거동 및 메커니즘을 확인하기 위해 bulk AlN 단결정에 대해 대기분위기에서온도에 따라 열처리를 수행하였다. 800oC의 온도에서 bulk AlN의 본격적인 산화 및 Al-oxide 들의 성장이 일어난 것을 확인하였고, 온도가 증가함에 따라 산소 성분의 wt%가 증가하는 반면 질소 성분의 wt%는 감소하는 경향을 보였다. 900oC에서 열처리하는 경우, 성장 된 Al-oxide은 이웃한 Al-oxide와 merging되어 ?-Al2O3 다결정을 형성하기 시작했다. 1000oC의 온도에서 열처리하는 동안, 육각 피라미드 형 ?-Al2O3 다결정이 명확히 형성되었음을 확인하였다. X-선 회절 패턴 분석을 통해 bulk AlN의 온도에 따른 표면 결정 구조의 변화를 자세히 조사하였다.
#Aluminum nitride #Bulk AlN #Thermal oxidation #Aluminum oxide #Surface oxidation

목차

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참고문헌 (14)

참고문헌 신청
H. Kamata / 2009 / Single Crystal Growth of Aluminum Nitride / Fujikura Technical Review google schola B. Luo / 2002 / High breakdown M-I-M structures on bulk AlN / Solid-State Electron 46:573 google schola G. A. Slack / 1973 / Nonmetallic crystals with high thermal conductivity / J. Phys. Chem. Solids 34:321 google schola S. Strite / 1992 / Gallium nitride, aluminum nitride and indium nitride : a review / J. Vac. Sci. Technol. B 10:1237 google schola S. Krukowski / 1999 / Thermal properties of the group III nitrides / EMIS Datarev. Ser 23:21 google schola

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