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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
강수민 (한국과학기술원) 김택수 (한국과학기술원)
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제27권 제3호
발행연도
2020.1
수록면
9 - 20 (12page)

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기능성 나노박막을 손상 없이 목표기판으로 옮기는 전사 기술은 나노박막 기반의 차세대 응용 제품 개발을 위한 초석이다. 본 논문에서는 최근 나노박막 전사의 연구 동향을 박막?기판 계면의 박리 원리에 따라 습식 식각 전사, 전기화학적 박리, 기계식 전사 방법 세 가지로 분류하여 간단하게 살펴볼 것이다. 더 나아가, 손쉽고, 기판 재활용이 가능하며, 광범위한 적용 가능성을 가지고 있어 유망 기술로 간주되는 기계식 전사 방법에 대하여 파괴 역학적 관점에 초점을맞추어 다룰 것이다. 마지막으로, 나노박막의 기계식 전사 방법의 기술 성숙도를 향상시키기 위한 향후 도전 과제와 방향성에 대하여 고찰하고자 한다.
#Nanofilm #Transfer #Adhesion #Crack driving force #Crack deflection

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C. Lee / 2008 / Measurement of the Elastic Properties and Intrinsic Strength of Monolayer Graphene / Science 321:385 google schola K. S. Novoselov / 2005 / Two-Dimensional Gas of Massless Dirac Fermions in Graphene / Nature 438:197 google schola A. A. Balandin / 2008 / Superior Thermal Conductivity of Single-Layer Graphene / Nano Lett 8(3):902 google schola R. R. Nair / 2008 / Fine Structure Constant Defines Visual Transparency of Graphene / Science 320:1308 google schola K. S. Kim / 2009 / Large-Scale Pattern Growth of Graphene Films for Stretchable Transparent Electrodes / Nature 457:706 google schola

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