지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
A new XRF automation system is developed to analyze the components of compoundsemiconductors such as CdTe and CdZnTe, which are currently manufactured. The systemconsists of an X-ray generator, a Si-PIN based X-ray detector module, two stepping motors thatcan be moved in two axes, a Z-axis stage that can be adjusted manually, a motor controller, anda lead shielded container. We implemented a XRF data acquisition software to control the motor,and acquire the XRF spectrum at each pixel. Up to 3-inch in diameter sample can be mountedon the sample holder. An XRF spectrum was obtained using a our CdZnTe wafer fabricatedwith Bridgman method, and elemental distributions of Cd, Zn, and Te on the wafer surface weremapped successfully.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
XRF를 활용한 골재의 토분특성과 콘크리트 품질기준 제안
한국콘크리트학회 학술대회 논문집
2023 .05
-
XRF를 이용한 어린이집 보육실내 마감재 중금속 노출연구
환경분석과 독성보건
2017 .01
-
Self-induced XRF를 이용한 사용후핵연료의 연소도 평가
한국방사성폐기물학회 학술대회
2015 .01
-
박막의 실시간 두께측정을 위한 XRF 장치의 제작 및 Al/metal과 Au/metal계의 특성
한국정보기술학회논문지
2019 .08
-
Rapid Screening of Naturally Occurring Radioactive Nuclides (<sup>238</sup>U, <sup>232</sup>Th) in Raw Materials and By-Products Samples Using XRF
방사선방어학회지
2016 .01
-
[기술보고] 니켈 라테라이트 광상에서 유리 비드 인증표준물질(CRM)을 활용한 휴대용 XRF 현장 적용 사례
한국자원공학회지
2023 .04
-
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
-
반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론
대한산업공학회지
2015 .06
-
A novel approach in voltage transient technique for the measurement of electron mobility and mobility-lifetime product in CdZnTe detectors
Nuclear Engineering and Technology
2019 .01
-
반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
-
웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
-
진공흡착 로봇시스템을 이용한 웨이퍼 클리닝 자동화 장비 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .12
-
잔골재 중 0.08 ㎜ 이하 풍화된 점토성 미세입자의 평가방법에 대한 실험적 연구
대한건축학회논문집
2023 .01
-
Development of Analog and digitalCircuits for Multi-CdZnTe Semiconductor Detector Array System
대한전자공학회 학술대회
2017 .01
-
영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
-
비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구
Proceedings of KIIT Conference
2021 .06
-
Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
-
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발
Proceedings of KIIT Conference
2021 .11
-
WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구
한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집
2015 .01
-
웨이퍼 클리닝 및 표면검사 자동화 장비 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .06
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0