스윙암 CMP 컨디셔닝 시스템의 설계변수 최적화 연구

이현섭; 박병훈; 박범영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이현섭 (동아대학교) 박병훈 (동아대학교) 박범영 (부산대학교)

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2021년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2021.12

수록면: 251 - 251 (1page)

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#Chemical Mechanical Polishing (CMP) #Swing-arm Conditioning #Taguchi Method #Design Optimization

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