ALD 설비의 NH₃(Ammonia)누출 시나리오에 대한 내부유동 및 제어 속도 해석

이성삼 ,  안형환

한국가스학회지

2022 .10

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Bandgap Control of Sn_1-xMg_xO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method

Jin Gi An ,  Juwon Kim ,  Donghyeop Shin 외 10명

AFORE

2023 .11

원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향

신예원 ,  한유리 ,  이우재

한국표면공학회지

2025 .02

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작

박해범 ,  조성민 ,  김건웅 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향

고은총 ,  안지상 ,  한정환

한국표면공학회지

2022 .12

ALD 공정에서의 플라즈마 응용

이우재 ,  윤혜원 ,  이동권 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발

이재욱 ,  김현범 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

Atomic Layer Deposition on Nano-particles using External Vibration

S.W. Pa ,  k ,  G. D. Han 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

Atomic Layer Deposition for Energy Conversion and Storage Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

The Moisture Barrier Film Using Thermal Epoxy Resin and Atomic Layer Deposition (ALD)

김성희 ,  이준영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .10

Role of a PVA layer During lithography of SnS₂ thin Films Grown by Atomic layer Deposition

Ham ,  Giyul ,  Shin 외 7명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

이우재 ,  Susata Be ,  aa 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .06

전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al₂O₃ 박막의 물리적·전기적 특성 비교

양대규 ,  김양수 ,  김종헌 외 2명

한국재료학회지

2017 .01

저온 ALD/MLD 를 이용한 유기-무기 하이브리드 기체 투과 방지막 특성 연구

김소정 ,  김천중 ,  정낙관

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

박막공정 최적화를 위한 ALD Chamber 내부 열유동 해석

이승헌 ,  송동근 ,  김정수 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

저온.상압 공정 기반 멀티 슬릿 구조의 원자층 증착 헤드 개발에 관한 연구

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04