지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
CMP 연마 입자 크기가 산화갈륨 기판의 거칠기에 미치는 영향
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
(001) 산화갈륨 기판의 CMP 공정에서 첨가제가 연마 성능에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
산화갈륨(Ga₂O₃) CMP 에서 표면 Waviness 개선에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
Thermal Effect in Oxide Film Chemical Mechanical Polishing
대한기계학회 춘추학술대회
2023 .04
구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
산화막 CMP 공정 중 패드 그루브에 기반한 슬러리 유동과 온도 제어에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
구리 CMP 공정에서 온도가 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
다층구조의 CMP 슬러리 여과용 필터 제조 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
산화망간이 첨가된 혼합 연마제 실리카 슬러리의 산화막 CMP 특성
전기전자학회논문지
2019 .12
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
A Study on the Polishing Characteristics Using Floating Nozzle in Linear Roll CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2015 .07
니켈 전극을 이용한 전해 이온화 슬러리 CMP 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .04
0