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구리 CMP 에서 높은 제거율과 낮은 디싱량을 위한 온도 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
알루미늄 CMP에서 부식억제제가 디싱 감소에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
펨토초 레이저 조건에 따른 Through Glass Via(TGV) 형상 비교
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2024 .10
구리 CMP 에서 슬러리 미세분사를 통한 디싱 결함 감소에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
온도를 고려한 구리 패턴의 평탄화 CMP 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
CMP 가공시간과 패턴 사이즈 효과를 고려한 수학적 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
패턴 밀도에 따른 산화막 웨이퍼의 CMP 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
평탄화 시간 예측을 위한 온도 함수를 고려한 구리 CMP 모델링
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
앙상블 모델을 통한 화학적 기계연마 기술 연마율 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
TGV 생산성 증가를 위한 다양한 에칭액을 이용한 선택적 레이저 에칭 공정 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
구리 CMP에서 온도 함수를 고려한 단차 감소 예측 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
CMP 에서 스프레이 다중 노즐 시스템을 통한 패드의 균일한 온도 분포의 효과
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
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