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이기훈 (부산대학교) 이다솔 (부산대학교) 정선호 (부산대학교) 이동환 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2019년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2019.5
수록면
28 - 28 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2020

CMP에서 스프레이 노즐을 이용한 패드 표면 온도의 균일화
이기훈 기계공학부 2020.01 학위논문

2019

CMP 에서 스프레이 다중 노즐 시스템을 통한 패드의 균일한 온도 분포의 효과
이기훈 ,  이다솔 ,  정선호 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.05 학술대회자료

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#CMP(Chemical Mechanical Planarization) #Multiple spray nozzle #Temperature profile #WIWNU(Within Non-Uniformity) #Flow rate

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구리 CMP 에서 슬러리 미세분사를 통한 디싱 결함 감소에 관한 연구
이다솔 ,  이현섭 ,  조호성 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 .10
세리아 슬러리의 분사 두께 분포가 산화막 CMP에 미치는 영향
이다솔 ,  이현섭 ,  정경우 외 2명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2019 .10
CMP Retainer Ring 단면 형상에 따른 Wafer 유효면적 변화
최진수 ,  이현우 ,  한제헌 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2018 .12
다중 슬러리 분사시 노즐별 온도 제어를 통한 연마균일도 향상
이기훈 ,  이다솔 ,  이동환 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2018 .12

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