얇은 열산화-질화막의 특성평가 ( Evaluation of Characteristics of Oxidized Thin LPCVD-Si3N4 Film )

구경완; 조성길; 홍봉식

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자료유형: 학술저널

저자정보: 구경완 조성길 홍봉식

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-A 전자공학회논문지 A편 제29권 제9호

발행연도: 1992.9

수록면: 749 - 755 (7page)

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