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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제27권 제3호
발행연도
2003.3
수록면
472 - 477 (6page)

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A piezo-actuator is an important component for an E-beam lithography system. But it is very difficult to model its characteristics due to nonlinearities such as hysteresis and creep, to the input voltage. In this paper. one-axis micro stage with a piezo-actuator is modeled including the nonlinear properties. Hysteresis and creep are modeled as the first order differential equation and a time-dependent logarithmic function, respectively. The dynamic motion of the stage is also modeled as a mass-spring-damper system and the parameters are determined by utilizing the system identification technique. The simulation tool for a micro stage is
constructed using the commercial software and its simulation results are compared with the experimental data.

목차

Abstract

1.서론

2.압전구동기의 모델링

3.시뮬레이션 툴 구축

4.실험

5.결론

후기

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