건식 / 습식 산화막을 적용한 MOS 특성 개선

정회환; 정관수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정회환 정관수

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제4회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1993.2

수록면: 42 - 42 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018011725

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상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
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	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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