HfO₂ MIM capacitor의 하부 금속에 따른 전기적 특성 변화

도승우 ,  배군호 ,  이재성 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

HfO₂ MIM capacitor의 하부 금속에 따른 전기적 특성 변화

도승우 ,  배군호 ,  이재성 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

Si 웨이퍼 기반 RF회로 응용을 위한 HfO2 MIM 케패시터의 전기적 특성분석

박정일 ,  정석원

Proceedings of KIIT Conference

2008 .05

MIM capacitor 소자에서 La₂O₃/HfO₂ 나노 적층 유전층의 구조 제어에 따른 효과

김민규 ,  오일권 ,  김형준

대한전자공학회 학술대회

2012 .11

Characterization of Dielectric Relaxation and Reliability of High-k MIM Capacitor Under Constant Voltage Stress

Ho-Young Kwak ,  Sung-Kyu Kwon ,  Hyuk-Min Kwon 외 5명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2014 .10

MIM 구조를 갖는 Al2O3/HfO2/Al2O3 캐패시터의 정합특성 분석

장재형 ,  이희덕 ,  권혁민 외 7명

전기전자재료학회논문지

2012 .01

Al₂O₃-HfO₂-Al₂O₃와 SiO₂-HfO₂-SiO₂ 샌드위치 구조 MIM 캐패시터의 DC, AC Stress에 따른 특성 분석

곽호영 ,  이희덕 ,  권혁민 외 6명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

$La_2O_3/HfO_2$ 나노 층상구조를 이용한 MIM capacitor의 특성 향상

오일권 ,  김민규 ,  박주상 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2012 .01

New HFO-Based Option(HFO기반의 다양한 냉매 옵션)

윤린

설비저널

2011 .04

Gate 산화막으로 $HfO_2$ 박막을 이용하여 제작한 NFET 특성 고찰

박재후 ,  조문주 ,  박홍배 외 4명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

ALD법으로 성장한 HfO 박막의 열처리에 따른 특성변화

이재웅 ,  함문호 ,  맹완주 외 2명

한국재료학회지

2007 .01

HfO₂ 박막 특성에 대한 주성분 분석을 이용한 신경망 모델링

고영돈 ,  이정환 ,  함문호 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

비휘발성 메모리 응용을 위한 ALD법을 이용한 HfO₂ 절연막의 특성

정순원 ,  구경완

전기학회논문지

2010 .08

Tunable RF 기기 적용을 위한 ALD-HfO₂의 마이크로파 대역 강유전체 특성 고찰

한상우 ,  이창현 ,  이정해 외 1명

전기전자학회논문지

2018 .09

HfO₂-Si의 조성비에 따른 HfSiO_x의 IZO 기반 산화물 반도체에 대한 연구

조동규 ,  이문석

전자공학회논문지

2013 .02

Effects of Working Pressure on Structural and Optical Properties of HfO2 Thin Films

정양희 ,  강성준

한국전자통신학회 논문지

2017 .01

Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in $Al_2O_3-HfO_2$ Thin Films

정회성 ,  김지헤 ,  강상원

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

저전력 휴대용 통신단말을 위한 이온빔 처리된 HfO2 박막의특성 연구

김원배 ,  이호영

한국위성정보통신학회논문지

2015 .01

ZnO를 사용한 MOS 커패시터의 제작 조건에 따른 특성 변화

남형진

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01