고밀도 유도결합 플라즈마원 유체 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 수치해석 방법 비교

權得哲; 尹南植; 金貞衡; 申容賢

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자료유형: 학술저널

저자정보: 權得哲尹南植金貞衡申容賢

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 C 전기학회논문지 제53C권 제8호

발행연도: 2004.8

수록면: 433 - 442 (10page)

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