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Vanadium oxide thin films (VOx) have been deposited by RF magnetron sputtering from V₂O? target under different oxygen partial pressure ratios(0%, 10%) and substrate temperatures(27℃, 400℃). Crystallographic structure and morphology of the films are studied by XRD and SEM. Humidity-sensing properties of resistive sensors having interdigitated electrode structure are characterized through electrical conduction measurements. The films deposited at room temperature are amorphous whereas the ones deposited above 400℃ are polycrystalline. The sensors show good response to humidity over 20%RH to 80%RH. Vanadium oxide thin films deposited with 0%O₂ partial pressure at 400℃ exhibit greater sensitivity to humidity change than others.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - B. M. Kulwicki / 1991. / Humidity sensors 74 (4) : 697 ~ 708
[학술지(정기간행물)] - P. T. Moseley / 1992. / Materials selection for semi- conductor gas sensors 6 : 149 ~ 156
[학술지(정기간행물)] - T. Seiyama / 1983. / Ceramic humidity Sensors 4 : 85 ~ 96
[학술지(정기간행물)] - R. T. Rajendra Kumar / 2003. / Pulsed laser deposited vanadium oxide thin films for uncooled infrared detectors 107 : 62 ~ 67
[학술지(정기간행물)] - K. C. Kam / 2006. / Thermochromic VO2 nanorods and other vanadium oxides nanostructures 41 : 1015 ~ 1021
[학술지(정기간행물)] - P. T. Moseley / 1992. / Materials selection for semi- conductor gas sensors 6 : 149 ~ 156
[학술지(정기간행물)] - T. Seiyama / 1983. / Ceramic humidity Sensors 4 : 85 ~ 96
[학술지(정기간행물)] - R. T. Rajendra Kumar / 2003. / Pulsed laser deposited vanadium oxide thin films for uncooled infrared detectors 107 : 62 ~ 67
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