지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
[참고문헌]
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
유도결합형 플라즈마에서의 아르곤 가스의 광 효율
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .11
유도 결합형 플라즈마를 이용한 아르곤 가스의 휘도 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .07
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
A Two-dimensional Steady State Simulation Study on the Radio Frequency Inductively Coupled Argon Plasma
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2002 .10
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
Plasma Properties of Dual-Frequency Inductively Coupled Plasma Source
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
유도 결합형 플라즈마를 이용한 감광제 제거 반응로의 설계
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
유도 결합형 플라즈마를 이용한 감광제 제거 반응로의 설계 ( Design of Inductively Coupled Plasma Ashing Chamber )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
반응성 유도결합 플라즈마 시스템에서 방전시 압력 변화의 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
다양한 폴리머 기판의 유도결합플라즈마 전처리
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
1993 .04
0