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퍼플골드를 위한 열증착법으로 제조된 Au-Al 합금 박막의 물성연구
Applied Science and Convergence Technology
2008 .09
대면적 다결정 실리콘 증착을 위한 내장형 유도결합 플라즈마 소오스에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
3차원 소자를 위한 개선된 소오스/드레인 접촉기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
최근의 투명 박막증착기술의 동향
포장계
1999 .01
E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
대면적 디스플레이 장치를 위한 선형 유도결합형 플라즈마 소오스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
윤활박막이 증착된 다이아몬드 박막의 트리보 거동
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유기소자의 Encapsulation 박막으로 사용된 원자층 및 분자층 증착 Al₂O₃/Alucone 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
아크로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
복층구조로 증착시킨 DLC 박막의 기계적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
증착조건에 따른 인듐 위에 증착된 hexamethyldisiloxane 박막의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
ICP - CVD로 증착된 a-C : F 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
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