N2O 질화산화막의 성장 방법 및 면적에 따른 TDDB 특성

정태식; 김재영; 이상돈; 김봉열

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정태식 김재영 이상돈 김봉열

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제1권

발행연도: 1994.1

수록면: 63 - 64 (2page)

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