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Cu CMP에서의 연마 균일성에 관한 기계적 해석
전기전자재료학회논문지
2007 .01
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
반경험적인 실험설계 기법을 이용한 CMP 공정 변수의 최적화
전기전자재료학회논문지
2002 .01
CMP특성과 온도의 상호관계에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .10
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
Roll-CMP 공정의 공정변수에 관한 통계적 분석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013 .10
원심펌프를 통한 Cu CMP 의 연마균일도 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Development of Multiple CMP Monitoring Systemfor Consumable Designs
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2007 .01
초음파를 이용한 Metal CMP의 Conditioning에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
CMP개론 및 현황
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
연마입자 크기가 CMP 공정의 연마균일도에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2004 .11
산화막 CMP 에서 압력조건이 웨이퍼 가장자리 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
패턴 밀도에 따른 CMP 공정에 따른 연구
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
CMP 중 연마 패드와 백킹 필름사이의 상대 점탄성에 따른 압력 불균일도
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구 ( Optimizations for Oxide CMP Processes )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
구리 CMP 공정변수 최적화를 위한 실험계획법(DOE) 연구
전기전자재료학회논문지
2005 .01
CMP 슬러리의 분산성 향상에 관한 연구 ( A Study on the Improvement of the Slurry Dispersibility in CMP )
대한기계학회 논문집 A권
2001 .10
CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향
대한기계학회 논문집 A권
2004 .11
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