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반도체 식각 장비 개발의 경쟁력
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
반도체 식각 전산모사에 적합한 플럭스 생성 조건
전자공학회논문지
2015 .03
반도체 식각장비 핵심부품 역할 및 가공기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
이중 커널 밀도 추정 기반의 반도체 식각 종점 탐지
한국통신학회 학술대회논문집
2022 .06
모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2022 .04
건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2023 .11
HCl 용액을 이용한 α-Ga2O3 epitaxy 박막의 습식 식각
한국결정성장학회지
2022 .02
High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
반도체용 CO₂ 분석 방법 연구
한국가스학회 학술대회논문집
2019 .05
할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
상압플라즈마 식각 기술을 이용한 유무기 페로브스카이트 반도체 물질의 원형 패턴 형성에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .11
이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
반도체 메모리 소자 제조에서 High Aspect Ratio Contact 식각 연구 동향
한국표면공학회지
2024 .06
반도체 장비 시장_거세지는 美 반도체 규제 바람, 반도체 산업 지형도 바뀌나?
전자기술
2023 .03
Calculation and Maxwell Simulation Analysis of Coupled Inductor with Air Gap Considering the Influence of Fringing Flux
전력전자학회 학술대회 논문집
2022 .07
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