Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system

C. H. Lee ,  K. N. Kim ,  T. H. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering

Young Seok Kim ,  Ki Seong Lim ,  Ki Buem Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

증착율 변화에 따른 TIO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화

문현주 ,  김대일

열처리공학회지

2016 .01

P-type Electrical Characteristics of the Amorphous La₂NiO_4+δ Thin Films

Dang-Hoang Hop ,  Jung-A Lee ,  Young-Woo Heo 외 2명

한국표면공학회지

2018 .08

인라인 스퍼터를 이용한 알루미늄 도핑된 산화아연 박막의 증착 및 특성 최적화 연구

강동원

전기학회논문지

2017 .08

The properties of nanocomposite Ti-Al-V-N coating synthesized by magnetron sputtering process with single composite target

문경일 ,  이한찬 ,  윤혜원 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성

김동원

한국표면공학회지

2019 .08

A Study on the standardize the characteristic evaluation of DC magnetron sputtered silver coatings for engineering purposes

Gobinda Gyawali ,  Jinhyuk Choi ,  Tae Kwan Lim 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

이원 동시 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Zn doped ITO 박막의 열전 특성

이호윤 ,  김서한 ,  윤장희 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절

김도한 ,  이수정 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

Enhanced Room-Temperature Thermoelectric Performance of In-Doped ZnO:Al Thin Films through Prefabricated Layer Doping Method

Ping Fan ,  Zhuang-Hao Zheng ,  Jing-Ting Luo 외 2명

Electronic Materials Letters

2015 .01

(Ga,Al) : ZnO 투명전극층의 두께에 따른 CIGS 박막 태양전지의 성능 변화 연구

차정화 ,  전찬욱

Current Photovoltaic Research

2017 .03

스퍼터링으로 증착한 질소 도핑된 산화하프늄 박막

김나진 ,  김건웅 ,  백승재

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

증착 온도가 라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 SnO₂:Eu³⁺ 박막의 특성에 미치는 영향

조신호

한국표면공학회지

2023 .06

Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering

Gil Su Jang ,  Du Yun Kim ,  Nong-Moon Hwang

Electronic Materials Letters

2021 .01

투명전도성 박막의 활용을 위한 스퍼터링 증착 기술과 전망

김상모 ,  김경환

전기전자재료학회논문지

2023 .03

Ni 층간박막에 따른 SnO₂ 박막의 전기적, 광학적 물성 변화

송영환 ,  엄태영 ,  김대일

열처리공학회지

2016 .01

스퍼터링으로 제작된 Ag-Ti 이중층 박막의 특성 평가

전지웅 ,  김정수 ,  유호준 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

Low-Temperature Deposition of Ga-Doped ZnO Films for Transparent Electrodes by Pulsed DC Magnetron Sputtering

Cheon ,  Dongkeun ,  Ahn 외 3명

한국재료학회지

2017 .01

Physical Properties of Sputter-deposited Al-C Thin Films

오인종 ,  손한솔 ,  최현주 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .06